9K 초고속·고감도 UV Hybrid TDI Line Scan Camera
UV 대응 BSI 센서로 뛰어난 감도와 화질 구현
UV 전용 Backside Illuminated(BSI) 이미지 센서를 적용하여 자외선 영역뿐 아니라 가시광 및 근적외선 영역에서도 높은 양자효율(QE)과 우수한 SNR을 제공합니다.
저조도 환경에서도 미세한 결함을 선명하게 검출할 수 있어 반도체, 웨이퍼 및 형광 이미징과 같은 고감도 검사에 적합합니다.
Hybrid TDI 기술과 최대 256 TDI Stage 지원
Charge-domain CMOS 기반 Hybrid TDI 기술을 적용하여 기존 TDI 카메라보다 더욱 높은 감도와 빠른 처리 속도를 제공합니다.
최대 256 TDI Stage를 지원하며, HDR 모드에서는 256 Stage와 32 Stage를 동시에 활용해 넓은 다이내믹 레인지와 우수한 이미지 품질을 구현합니다.
최대 543kHz 고속 검사와 CoaXPress 2.0 인터페이스
4채널 CoaXPress 2.0(CXP-12) 인터페이스를 통해 최대 543kHz(8-bit 기준)의 라인레이트와 4.9Gpixel/s의 처리 성능을 제공합니다.
반도체, PCB, FPD, 배터리 및 고속 자동화 검사 시스템에서 안정적인 데이터 전송과 정밀한 이미징 성능을 제공합니다.
주요사양
SPECIFICATIONS
주요사양
SPECIFICATIONS
Series |
VTS |
Model |
VTS-9K5X2-H550I-256-UV |
|---|---|---|---|
Partnumber |
VTS 9K, 550KHz, CXP-12 |
Sensor |
GLT5009BSI |
Resolution |
9056 x (256 + 32) |
Stage |
256 + 32 |
Max Line Rate |
543KHz |
Pixel Size |
5um |
Interface |
CXP-12 |
Sensor Type |
Mono |
Dynamic range |
- |
Mount |
M72 |
Maker |
Vieworks |